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一种半导体刻蚀设备中零件的表面处理方法
- 申请号:200610169564.3
名称:一种半导体刻蚀设备中零件的表面处理方法
公开(公告)号:CN101207002
公开(公告)日:2008.06.25
主分类号:H01L21/00(2006.01)I
申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工...
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酸蚀铝型材表面预处理技术的应用
- 1、工艺简介
近年来,铝合金亚光型材生产和销售量越来越大,市场占有率在80%以上。目前亚光型材生产普遍使用碱蚀方法,铝溶损在3%-5%之间,造成巨大资源浪费,而且大大增加了环保治理难度,加重了企业的“三废”处理负担。酸蚀技术是...
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铝合金化学镀镍工艺对镀层沉积速度的影响
- 铝及其合金由于其优良性能,已广泛应用于建筑、航天、电器、电子产品及日用品等各个方面,其产量和用途均已成为仅次于钢铁的第二大金属材料。随着现代科技的发展,对铝合金表面性能的要求越来越高,如耐蚀性、耐磨性和装饰性等等,铝合金表面处理技...
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用一步净化器处理电镀废水
- 传统的电镀废水在铬、氰单独预处理后,后续通常采用“反应池 斜管(板)沉淀池 沙滤罐”的工艺处理电镀酸碱混合废水,但若出现含铬、氰废水混排到酸碱混合废水池时,就会出现总排水的六价铬、氰化物和总铬3项指标很难达标排放;而该工艺后续采用“一...
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